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2005年度技報

Heリークテストの現状

大分営業所 検査課 大迫幸一郎、岡林祐司


試験体から漏れるHeガスをHeリークディテクターで検出し、リーク箇所を検出する方法をHeリークテストという。Heリークテストはアンモニアリークテスト及びハロゲンリークテストなどと比較すると、より微細なリークを検出可能である。Heリークテストにおいて、真空法では補助排気装置を使用することにより、1×10-8 Pa・m3/secの高感度で、加圧法では1×10-7 Pa・m3/secとJIS Z 2331:1992に準拠した検査が可能である。

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